|
|
| Автор: Марголин В.И. |
| Издательство: Академия |
| Год: 2008 |
| Cтраниц: 400 |
| Формат: djvu |
| Размер: 4 050 773 |
| ISBN: 978-5-7695-4227-5 |
| Качество: Хорошее |
| Язык: русский |
|
 |
|
Описание:
|
Изложены основы квантовой механики, фрактальной геометрии и фрактальной физики, нелинейной динамики. Рассмотрены физические основы основных технологических процессов микро- и наноэлектроники: получение тонкопленочных структур, создание и перенос литографического изображения, методы модификации поверхностных и объемных структур, основы и методы контроля и метрологии.
Для студентов высших учебных заведений.
|
Пресс - релиз
string(4) "true"
int(166)
|
